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第二十三章半導體製造概論

本區機器操作時，機器中都需要抽成真空，所以稱之為真空區，真空區的機器多用來作沈. 積暨離子植入，也就是在Wafer 上覆蓋一層薄薄的薄膜，所以又稱之為「薄膜區」。在真空 ...

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