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以奈米壓痕與穿透式電子顯微鏡分析氮化鋁鎵半導體薄膜之力學 ...

續性勁度量測系統，量測氮化鋁鎵薄膜之硬度與楊氏模數，其值分別為19.76 ± 0.15 GPa 與310.63 ± 9.41. GPa。藉由聚焦離子束準確地定位壓痕位置並加以離子研磨，再搭配 ...

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