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多層薄膜氧化鋅焦電感測器之特性分析

氧化鋅焦電薄膜感測器利用焦電效應，將溫度變化轉為焦電訊號。氧化鋅焦電薄膜感測器之訊號 ... 係數(thermal expansion coefficient)、材料性質、楊氏模數與薄膜堆積機.

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