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楊氏係數溫度
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本文研究矽鍺薄膜在不同退火溫度下之機械性質量測,矽鍺薄膜經由超高真空化學氣相 ... 包括殘留應力、楊氏係數和硬度等矽鍺薄膜機械性質被測試,由一組應力測試系統量 ...
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