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晶圓級薄膜材料性質演算法之穩健性探討 - ResearchGate

料的實際應用方面亦是非常重要數據；另外，較大的. 殘餘應力會使微元件和電路產生故障，嚴重影響元件. 之性能，因此楊氏係數和殘餘應力的影響最引人注.

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