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AFM-原子力顯微鏡(奈米壓痕)奈米科技應用介紹

近年來極大型積體電路 · 的蓬勃發展，造成晶片上的集積度 ; 是故在半導體製程中，薄膜的諸多機械性質可藉由奈米壓痕的測試更便捷地擷取。除硬度、楊氏模數外，在研究薄膜之 ...

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