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晶圓級薄膜材料性質演算法之穩健性探討 - ResearchGate

楊氏係數 、平均應力、薄膜機械性質 ... 之性能，因此楊氏係數和殘餘應力的影響最引人注 ... 實驗值，依照公式反算楊氏係數及平均應力如表二所. 示；利用表二算出之楊氏 ...

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