14、玻璃載板(東光玻璃). 15、亁式光阻(正型) ... 量為15wt%的聚醯胺酸刮在乾淨的玻璃機板上。 (5) 再經由階段性升溫的熱處理(升溫步驟由下圖3-3.2 所示)，一方面進行.
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