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X光光電子能譜儀(XPS) - 國研院台灣半導體研究中心

藉由X-Ray光束照射在樣品表面，可收集到樣品表面數層原子內的光電子，分析此光電子的能量可 ... 適用於導體、非導體、High-K Material 、CIGS 、高分子材料、透明膜…

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