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曝光顯影製程
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半導體微影製程疊對控制之研究The Study of Semiconductor ...
1.光阻覆蓋(photo resist coating):將有機光阻塗在晶片上。 2.曝光(exposure):用曝光機或步進機將光罩上的線路圖曝照在光阻上。
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