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曝光顯影製程
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HMDS去水烘烤與塗底示意圖旋轉塗佈光阻
微影製程使用光源波長越短,則可達線寬越小。 光罩, 將設計好的電路圖形,透過電子束曝光系統將鉻膜圖形製作在玻璃或石英上頭, ...
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