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結合雷射干涉系統之微影及RIE蝕刻製程製作奈米壓印之Si模具

... 這裡將會介紹曝光時間對於線寬的影響以及顯影時間對線寬值的影響。 ... 無法直接在矽晶圓上製作奈米光阻結構，在蝕刻製程中光阻不能當作蝕刻遮罩層來製作高深寬比 ...

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