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無光罩數位曝光技術與應用 - 材料世界網

無光罩曝光技術，顧名思義即不使用光罩(Mask)來進行曝光使光阻劑產生圖案化 ... 會使用到光阻劑來進行曝光顯影之製程皆能夠導入無光罩曝光技術應用。

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