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積體電路製作流程

化學顯影. ‧ 蝕刻技術. ‧ 光阻去除 ... 用電子束曝光. 設備製作光罩 ... 曝光. 顯影. 離子注入. 氧化. 薄膜形成. Oxidation. Etching. Implantation.

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