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曝光機stepper scanner
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先進封裝設備計畫(1/4) 執行期間
目前已針對半導體曝光機與 ... 奈米先進製程的情況下,EUV 極紫外線曝光機在其中所扮演的 ... Scanner、Stepper(scanner 曝光範圍大、像差小,較高階).
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