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曝光機stepper scanner
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三百道製程的完勝方程式比別人省錢、省時,還比別人更好 - 財訊
同樣的,在黃光製程中,所使用的微影機台如stepper(步進機)或scanner(曝光機),一台動輒數千萬美元,如何提升效率,讓生產量增加,更是研發部門的 ...
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