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曝光機stepper scanner
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投影式光刻机Projection Stepper(Projection Photoetching
完成一次扫描以后,曝光系统并不复位,而是在下一位置反方向扫描。目前先进光刻机都是步进-扫描的,简称“scanner”。光刻机的供应商主要有荷兰的ASML, ...
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