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疊對量測不確定度評估 - AOIEA

資料回饋給scanner來控制光學微影系統的層對層對位，一般疊對量測不確定度影響來自 ... 殘數，如Table 2，殘數值約小於20 nm，顯示曝光機台的曝光對於不同晶圓製作的 ...

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