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【歷史上的今天】搭上EUV熱潮的家登EUV光罩盒很了不起嗎？

ASML雙晶圓平台能在同一時間移動兩片矽晶圓：其中一邊的晶圓曝光於紫外光下，將電路設計圖影像（Pattern）刻在晶圓上；另一邊的晶圓同時由機台的量測儀器 ...

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