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台积电一个Fab装备18台EUV光刻机，ASML设立EUV培训中心 ...

据了解，台积电Fab 18厂现阶段已安装18台EUV曝光机，成为全球拥有最大EUV产能的半导体厂。 台积电看好5纳米及3纳米等先进制程未来几年强劲需求，今年资本 ...

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