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一文看懂asml光刻機工作原理及基本構造- 人人焦點
EUV 光刻機可望使工藝製程繼續延伸到7nm與5nm。 浸沒式光刻與二次圖形曝光示意圖. 半導體行業目前最大的瓶頸,在於摩爾定律的實現成本越來越 ...
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