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Ch 6: Lithography

曝光. Exposure. 顯影. Development ... 經由曝光製程將設計圖案轉移其上. ▫ 非常類似於塗佈在照相機上的光敏感物質 ... UV 到DUV, 到EUV, 甚至X-Ray. ▫ 降低K.

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