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台積電一個Fab裝備18台EUV光刻機，ASML設立EUV培訓中心 ...

積電中科Fab 15廠及竹科Fab 12廠都有建置EUV曝光機設備，主要提供7+納米及6納米晶圓代工，南科Fab 18廠是針對5納米及3納米打造的超大型晶圓 ...

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