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投影透鏡、投影曝光裝置、與euv微影的投影曝光方法

一種藉助具有來自極紫外光範圍(EUV)之操作波長λ的電磁輻射，將設置於投影透鏡之物件平面(OS)上的圖案成像至投影透鏡之影像平面(IS)上的投影透鏡(PO)，包含大量反射 ...

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