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ASML：量產型EUV機台2015年就位 - 新電子雜誌

也因此，業界才會對解析度可朝30奈米以下規格延伸，並能單次曝光的EUV寄予厚望；而EUV主要設備供應商ASML更是責無旁貸，務須跨越相關技術門檻，以延續摩爾 ...

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