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分辨率（光刻工艺中的分辨率） - 百度百科

集成电路生产中使用的投影式光刻机的曝光系统可以等效地用所谓的科勒(Koehler)光学 ... 式中，d是光瞳的孔径；f是透镜的焦距；k1是一个常数；λ是光源的波长；NA是投影 ...

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