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曝光機 NA 值
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芯片破壁者(三):光刻技术的“鬼斧”之变 - 科技
在试图探讨我国如何实现半导体产业突围的当下,光刻技术和光刻机始终是 ... 在现实的技术工艺中,K1值和NA值的改进有限,而降低曝光光源的波长λ成为 ...
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