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曝光機 NA 值
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奈米世代微影技術之原理及應用 - CTIMES
再者,由於光學鏡片的設計與製作能力的提升,使得數值孔徑增加快速而可以符合解析度提升的要求。直到半導製程進步到0.25(m,其對應的曝光波長為248 nm準分子雷射光源;此一 ...
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