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關於光刻膠材料及製備 - 頭條匯

聚合物：用光刻機曝光時，聚合物結構由可溶變為聚合，是對感光性和能量敏感的特殊 ... 看出，進一步減小最小特徵尺寸的方法就是減小曝光光源的波長以及提高NA 的值。

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