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下代EUV光刻机要来了炬光科技：是ASML核心供应商的重要 ...

炬光科技表示，公司为半导体光刻应用领域提供光刻机曝光系统中的核心激光 ... 会议上，ASML公司确认将推出下一代的高NA EUV光刻机，NA值从0.33提升 ...

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