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曝光機 NA 值
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關於OLED工藝中光刻膠材料及製備、看這篇文章就夠了
聚合物:當在光刻機曝光時,聚合物結構由可溶變成聚合,是光敏性和對能量敏感的 ... 減小最小特徵尺寸的方法就是減小曝光光源的波長以及提高NA 的值。
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