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摘取光刻机皇冠上的明珠——ASML

破193nm，缩短为134nm，NA值为1.35，最高可实现7nm制程节点。浸入技术是指让镜头和硅 ... 2.1 光刻机曝光方式:目前行业主流是步进扫描式.

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