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EUV到来之前的顶梁柱，你真的了解浸入式光刻吗？ - 半导体

采用具有更高折射系数的液体，浸入技术有可能使系统的NA>1。比如使用折射率为1.44的去离子水后，NA的理论最大值即为1.44。在193nm曝光系统中，分辨率R ...

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