你即將離開本站

並前往http://eportfolio.lib.ksu.edu.tw/app/course/homework/homeworkController.php?ac=file&type=replay&fileId=1245458

新世代積體電路製程技術- ~ 第四章微影模組

而對於使用光阻與光罩進行製程的EUV 技術，機. 台設備單價高達15億台幣以上(~ ... 而NA值方面，由早期的0.3，進步至現今的 ... 以ASML之EUV原型曝光機台作例子，如圖.

確定！ 回上一頁

查詢 「曝光機 NA 值」的人也找了：

  1. na值解析度
    2.
  2. na值計算
    3.
  3. 數值孔徑推倒
    4.
  4. NA Numerical aperture
    5.
  5. 數值孔徑大小
    6.
  6. 數值孔徑越大
    7.
  7. na數值孔徑
    8.
  8. na值醫學
    9.