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EUV光刻機到底是什麼?爲什麼這麼貴? - 人人焦點

晶片製作過程中，紫外線曝光是其中一步，而這個步驟就是由光刻機所執行的，它是 ... 在現有技術條件上，NA數值孔徑並不容易提升，目前使用的鏡片NA值 ...

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