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imec展示最新High-NA EUV技術- 產業．科技- 工商時報

比利時微電子研究中心（imec）於國際光學工程學會（SPIE）舉行的先進微影成形技術會議上，展示其High-NA（高數值孔徑）微影技術的重大進展， ...

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