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曝光機 NA 值
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https://dailyclipper.net/news/2022/03/28/265181/
ASML EUV工廠探秘HigH NA EUV光刻機首度亮相 - Daily Clipper
可以製造2nm先進製程的ASML的新一代高數值孔徑(High-NA) EUV光刻 ... 要想繼續提升光刻分辨率,如果不能進一步縮短光源波長,就必須採用多重曝光,.
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