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曝光機 NA 值
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两大光刻技术- 手机21IC电子网
传统光刻技术光刻胶与曝光镜头之间的介质是空气,而浸没式技术则是将空气 ... 较大的光学镜头材料和浸没液体材料;以及有效数值孔径NA值的拓展等问题。
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