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什么是EUV光刻机？为什么大家都在追求它？ - 大大通

紫外线曝光是其中一步，而这个步骤就是由光刻机所执行的，它是芯片生产的核心， ... 在现有技术条件上，NA数值孔径并不容易提升，目前使用的镜片NA值是0.33，大家可能 ...

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  2. na值計算
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