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5.2 技術領導地位

5.1.4 最近二年度生產量值表 ... 司能夠利用低數值孔徑（NA）雷射來降低機台成本。台積公 ... 掃描式曝光機參數優化與光罩，台積公司提供193奈米浸潤技.

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