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哼哧哼哧地光刻技术知识搬运系列(1)
以摩尔定律作为发展规律,光刻机曝光方式的变革历经接触/接近、扫描等倍 ... 其中k为工艺常数;λ为光刻机所用的光源波长;NA为物镜数值孔径,它与光 ...
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