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台積電搶購EUV機台致勝策略曝光大勝搶新求快二 ... - Yahoo奇摩

... 提前半年到2024下半年量產；同時，也搶先業界在研發工廠安裝目前最先進的高數值孔徑（High NA）EUV曝光機TWINSCAN EXE：5200，可說是來勢洶洶。

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