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讓摩爾定律成真的關鍵： 微影技術— 影響七十億以上個未來

主要受限於(1) 曝光機本身的數值孔徑、(2) 光的波長與(3) 製程相關等參數；上述的解析度可用數學方. 程式[9] 表示如下：. 圖六光學微影曝光機台及內部元件透視圖[8] ...

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