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EUV技術是摩爾定律「續命丹」？ - 電子工程專輯

ASML將自2023上半年起提供客戶0.55數值孔徑(NA)的新一代EUV機台(目前版本為0.33NA)；該公司副總裁Teun van Gogh接受《EE Times》採訪時表示，這將有助 ...

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