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義守大學工業工程與管理學系

本研究主要目的在於改善目前金凸塊微影製程影響關鍵尺寸值參數之研究，應用全 ... NA. K. DOF λ. = 其中K2 是另一個與光阻劑有關的常數。為了使曝光機聚焦深度增加， ...

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