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半導體製程技術 - 聯合大學

將設計的圖案經由曝光轉印到晶圓表面 ... 使曝光的樹脂變的能夠溶解在液態的基底溶液(顯影劑) ... 受光波波長和系統的數值孔徑決定. ▫ 解析度可以描述成：. NA.

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