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曝光機，要製造一台，究竟有多難？

而縱觀整個晶片製造流程，其中最複雜也是最前沿的莫過於曝光機。 ... 式中，CD為最小分辨的寬度，λ是光源的波長，NA是投影透鏡的數值孔徑，它主要與 ...

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