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晶體缺陷影響
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2023 電晶體
因高能量離子常會破壞矽晶表面晶體結構,造成輻射損傷, 生成各種缺陷。生成的缺陷對矽晶電性往往有不良的影響,因此在離子佈植後必須有一段熱處理的步驟,以去除晶體 ...
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