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中华人民共和国国家标准碳化硅晶体材料缺陷图谱

外延生长过程中，由外来颗粒物、表面划痕或诸如TSD等晶体结晶缺陷影响了原子台阶流动导致在. 4H-SiC外延层表面上形成具有三角形形状或图案的表面形貌 ...

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