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國立成功大學機構典藏

在超大型積體電路中，化學機械平坦化製程扮演著使晶圓金屬層和介電層平坦化的重要角色。在化學機械平坦化製程中，必須持續注入研磨液使晶圓表面產生一較軟 ...

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